八亿时空:打造Krf光刻胶树脂基体自主可控的"硬核"底座
在半导体材料国产化替代的浪潮中,光刻胶上游核心原料——树脂的自主供应,已成为打破"卡脖子"困局的关键环节。八亿时空(688181.SH)以前瞻性战略布局,在浙江省绍兴市上虞区建设了国内领先的先进材料生产基地,聚焦KrF光刻胶树脂、PSPI树脂及光酸等高端半导体材料的研发与量产,为国内光刻胶产业链的自主可控提供了坚实的材料底座。
百吨级双产线
HUNDRED-TON DUAL PRODUCTION LINES八亿时空上虞基地的核心优势在于其国内首条百吨级半导体光刻胶树脂高自动化柔性/量产双产线,这是国内少有的能同时覆盖研发中试与规模化量产的专业平台。
高柔性研发中试线
该产线专为配合国内光刻胶厂商及科研机构"小量多品种"的研发迭代和中试验证需求而设计。配置了精密反应与后处理系统,具备极高的生产柔性,能够快速切换不同配方和工艺,进行小批量、多批次的高品质树脂生产。它有效解决了国内光刻胶研发过程中"无米下锅"的痛点,是加速国产光刻胶新品开发、缩短从实验室到产业化进程的关键推手。
高产能量产线
针对已通过验证、进入稳定量产阶段的光刻胶产品,该产线专注于效率与稳定性。配置大型高效反应及精制系统,实现了生产流程的高度集成与自动化控制,确保产品批次间的高度一致性。该产线为国产高端光刻胶的规模化应用和市场份额提升,提供了强有力的材料保障。
💡 自动化控制系统
两条产线均配备了八亿时空自主设计的先进自动化控制系统,显著提升了生产效率和产品良率,同时满足高端材料生产对洁净度和工艺稳定性的严苛要求。
KrF光刻胶树脂
KrF PHOTORESIST RESINKrF光刻胶树脂占整个光刻胶质量的70%以上,是决定光刻胶性能的核心组分。八亿时空在KrF树脂领域实现了从单体自主配套到聚合工艺的全链条技术突破。
🧬 树脂体系:复杂而精密的分子设计
KrF光刻胶的基体树脂一般以聚对羟基苯乙烯为主链,通过均聚或共聚引入各种功能单体,构成复杂体系, 行业内常因羟基苯乙烯的英文首字母PolyHydroxyStyrene 而称之为PHS树脂:
- 常见单体:4-羟基苯乙烯、4-乙酰氧基苯乙烯、4-叔丁氧基苯乙烯、4-叔戊氧基苯乙烯、环己烷乙烯类、丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯等
- 侧链功能化:酚羟基常需被不同程度保护,侧链可引入金刚烷基系列、降冰片烯系列、环己基等环烷基,以及含硅基团、含氟基团、交联基团等,以满足技术演进和特殊功能需求
⚙️ 聚合技术:阴离子与自由基双路线并进
八亿时空掌握阴离子聚合与自由基聚合两大核心技术路线:
- 阴离子聚合:可实现分子量分布(PDI)<1.2的窄分布树脂规模化生产,达到国内领先、国际先进的水平
- 自由基聚合:提供宽分布树脂产品,满足不同光刻胶体系的应用需求
🚧 攻克国产化三大核心难点
单体自主配套
单体合成难度高,对纯度和金属离子含量要求极为苛刻(ppb级别)。八亿时空已实现合成树脂所需单体的自主生产工艺成熟,从源头打通了供应链,解决了长期困扰国内产业的"单体没有配套"的卡脖子问题。
聚合工艺与PDI控制
共聚需要精确控制单体种类、配比、反应温度、时间等无数参数。八亿时空通过自主开发的先进聚合工艺,成功将高端KrF树脂的PDI稳定控制在1.2以下,这是极高的工艺控制水平的体现。
晶圆厂验证与信任构建
国产化替代是"技术突破"与"信任构建"的双重长跑。八亿时空的KrF光刻胶用PHS树脂在金属离子杂质控制、分子量分布等关键指标上已达国际先进水平,金属杂质可稳定控制在ppt级别。多款产品已实现客户量产交付,并在晶圆厂验证通过实现量产。
三、展望:打造半导体材料国产化的标杆
从单体自主配套到百吨级双产线,从阴离子聚合窄分布树脂到ppt级金属杂质控制,八亿时空已构建起覆盖研发、中试、量产的全链条产业化能力。在半导体材料国产化的大潮中,八亿时空正以扎实的技术积累和产业化能力,成为国产高端光刻胶树脂替代的中坚力量。

光刻胶的国产替代之路,既需要各自深耕,也需要彼此靠近。浙江八亿时空在这条路上做了一些基础性工作——目前已经能自主生产对叔戊氧基苯乙烯、对叔丁氧基苯乙烯、对乙氧基乙氧基苯乙烯、丙烯酸挂侧链等一众单体,并完成了从合成到聚合工艺、再到甲类车间和洁净厂房的配套建设。但光刻胶树脂的配方千差万别,特殊单体品种繁多,单靠一家企业远远不够,产业生态的成熟需要更多伙伴共同参与。
我们理解,很多团队在特殊功能性单体的技术工艺上投入了多年心血,成果斐然,却在产业化落地时面临场地、资质或中试条件的瓶颈。这种“临门一脚”的难处,我们感同身受。 浙江八亿时空真诚地希望能成为大家的“落脚点”和“助推器”——现有的厂房、车间、资质体系,愿意为特色技术提供产业化配套支撑。
合作不追求单方面的利益,而是希望在技术互补、资源共享的基础上,让基础单体产能与特色单体技术形成合力,共同拓展产品线,分担风险、共享成长价值。如有特殊单体技术工艺需要产业化承载,欢迎随时接洽。浙江八亿时空愿做那座连接研发与市场的桥,共同把国产光刻胶的路走宽、走远。