对乙氧基乙氧基苯乙烯

产品介绍

对乙氧基乙氧基苯乙烯(pEES)，CAS No.:157057-20-0， 是一种光刻胶树脂的单体，受保护的羟基苯乙烯单体，在高端光刻胶树脂的合成中扮演着重要的角色。

pEES在KrF、EUV光刻胶中的应用： 合成KrF光刻胶、部分EUV（极紫外）光刻胶和电子束光刻胶所用树脂的关键原料。 扮演“酸敏保护基”的角色，在化学放大型光刻胶中，pEES的乙氧基乙氧基（EE）侧链是一个酸敏保护基团。在曝光前，它“保护”着酚羟基，使树脂不溶于显影液。曝光后，光产酸剂产生的酸会催化这个保护基团断裂，暴露出羟基，使曝光区域变得可溶于碱性显影液，从而形成精细的电路图案。 提升关键性能指标：使用pEES有助于改善光刻胶的线边缘粗糙度（LER），这对于实现高分辨率的图形至关重要。同时，它也是高纯度、低金属杂质（通常要求单金杂≤1ppb）的电子级化学品要角色。

质量与供应能力

我们提供从样品供应到小试制备、中试放大直至定制化批量生产的全流程服务，可根据客户对纯度、杂质控制、包装规格、交付周期及质量文件的具体要求，灵活调整供应方案。同时，我们配备专业的技术支持团队，能够协助客户完成从实验室研发到工业化生产的完整工艺开发与优化，确保项目顺利推进与转化。